能源研究技术平台新购置的高分辨三维X射线显微镜（Zeiss Xradia 610 Versa）已完成安装调试和价格公示，定于2026年01月21日起面向所内外开放试运行，试运行时间3个月（1月21日至4月30日），试运行期间测试收费按照正常收费标准的7折收取。请用户登录科研仪器管理系统（IMS）搜索“高分辨三维X射线显微镜（能源学院）” 进行在线预约。

高分辨三维X射线显微镜（Zeiss Xradia 610 Versa）

一、仪器介绍

X 射线显微镜（XRM）是通过高能量微聚焦的X射线源，发射具有高穿透性的X射线来扫描待测样品，配合数据采集、重构、可视化等软件，以二维虚拟切片和三维图像的形式，清晰、准确、直观、无损地展示各类样品内部组织、形貌、结构等，是材料研究必备的三维形貌和缺陷表征手段。设备不仅可以从多维度、多尺度来表征样品内部微观结构，还可实现最高0.5um的高空间分辨率。其检测样品可以是多形态、多材质，例如，对催化材料、高分子材料、纤维材料、陶瓷的三维无损分析；对电池充放电过程中电极材料的形貌测量及失效分析；对动、植物材料的微观结构三维成像等。

二、功能参数

1. 最高三维空间分辨： 0.5 μm；最小体素 40 nm

2. 射线管电压：30-160 kV，功率：1-25W

3. 可选物镜：0.4×，4×，20×，40×

4. 可测样品：最大尺寸300 mm，最大重量 25 kg

三、应用范围：

1. 对电池、能源材料、复合材料、高分子材料、陶瓷材料、金属材料、建筑材料、生物组织、油气地质、电子器件及半导体材料进行大样品高分辨无损亚微米级三维形貌及结构表征；

2. 进行局部定位放大和垂直拼接三维成像分析。

四、联系方式

仪器放置地点：中国科学院大学能源学院T1-B103

仪器管理员：张红燕

联系方式：zhy0514@dicp.ac.cn