高分辨三维重构X射线显微镜

仪器型号：蔡司Xradia 610 Versa

仪器介绍：实现对材料三维形貌和缺陷结构分析，具有亚微米量级的空间分辨率，可对材料进行高分辨、无损的微观结构检测。

应用范围：

1、对金属材料、复合材料、高分子材料、陶瓷材料、建筑材料、能源材料、生物组织、油气地质、电池、电子器件及半导体材料进行大样品高分辨无损亚微米级三维形貌及结构表征。

2、进行局部定位放大和垂直拼接三维成像分析。

功能参数：

1、最高三维空间分辨率0.5um；最小体素40nm；

2、射线管电压：30-160 kV，功率：1-25W；

3、可选物镜：0.4×，4×，20×，40×；

4、可测样品最大尺寸300 mm，可测样品最大重量25 kg。

放置位置：能源学院T1楼B103

联系方式：张红燕 zhy0514@dicp.ac.cn