仪器名称:高分辨场发射扫描电镜

品牌及型号：ZEISSGemini560

仪器介绍：

ZEISSGemini560场发射扫描电子显微镜配备镜筒内减速模式，可以在30KeV能量范围内实现亚纳米级分辨率，可用于观察纳米尺度材料的表面形貌特征，获取样品的形貌衬度、成分分布及表面电位信息。结合能谱分析（点扫、线扫、面扫）可同时测定样品的元素组成和分布情况。适用于传统材料研究以及新型储能、纳米技术和微电子器件等领域的表征需求。

设备主要参数指标：

1.发射源：肖特基热场发射电子枪

2.二次电子分辨率：0.4nm@15kV，0.7nm @1kV ，1.0nm@500V；背散射电子分辨率1.0nm@1kV

3.加速电压范围：0.02Kv－30Kv，10v/step 连续可调

4.放大倍数范围：1x－2,000,000x(宝丽来底片放大倍数)

5.样品台类型：5轴马达驱动样品台，移动范围：X: 0－130mm，Y: 0－130mm，Z:0-50mm，R：360° ,T :-4°~70°

6.配备探头：

• 二次电子探测器（SE2、Inlens）

• 背散射电子探测器（BSD）

• 能量选择背散射电子探测器（ESB）

• 能谱仪（EDS）：牛津 UltimMax 100

联系方式

仪器放置地点：星海园区能源基础楼（5号楼）100房间

联系人：公会敏

联系方式：gonghuimin@dicp.ac.cn