仪器名称及型号：多功能扫描探针电化学工作站（BioLogic M470）

仪器介绍：该设备主要包括：样品定位扫描系统、扫描电化学显微系统、阻抗测试系统、扫描振动探针微区电化学活性测试系统、电解液微滴扫描系统以及非接触式微区形貌测试系统。其工作原理是：电极分为工作电极，参比电极和对电极，利用三电极体系可以分别对电池或电解池的两极的反应进行观察。通过体系中的点位、电流或者电量作为体系中发生化学反应的量度进行测定的方法，也就是将化学变化归结为电化学反应。交流阻抗是用小幅度的交流信号扰动电解池并观察体系的变化情况，进而计算电化学参数。循环伏安法是在一定的电位下测量体系的电流，从而得到伏安特性的曲线。形貌测试是激光通过探针打到样品的表面，CCD检测器可以检测到散射的光，形成样品表面的高度分布数据，从而得到样品表面粗糙度和形貌特征。配备显微镜的电化学工作站，可以通过显微镜锁定测试的微区范围，完成以上的各种电化学性质的测试。

应用范围：此多功能扫描探针电化学工作站用于测量材料样品面的电导率等电化学性质，测量聚合物的缺陷腐蚀、无介质表面形貌、金属表面的ac-SECM表征、微区形貌测量、微区阻抗测试、原位测量局部电化学活性、微尺度下的伏安和阻抗测试以及表面电位测量等。

功能参数： 

1、轴向（x、y、z）扫描范围：≥ 100 mm。

2、扫描驱动分辨率：≤ 10 nm。

3、轴向（x、y、z）定位分辨率：≤ 20 nm。

4、最大扫描速度：10 mm/s。

5、扫描探针压电振动范围：10nm～1μm。

6、扫描探针压电振动控制分辨率：≤ 0.15 nm。

7、扫描探针压电振动定位分辨率：≤ 0.1 nm。

8、恒电位仪施加电位及分辨率：±10V,≤ 5 nV。

9、恒电位仪测量电位及分辨率：±10V,≤ 2μV。

10、电流量程：1nA ～ 1A。

11、最大电流：≥ 300 mA。

12、电流分辨率：≤ 25 fA。

13、最小脉冲持续时间：100 μS。

14、扫描速度: 1 μV/s ～ 200 V/s。

15、静电计输入阻抗: ≥1013Ω。

16、静电计带宽：≥ 1MHz。

17、静电计带宽（微区阻抗测量）：≥ 100kHz。

18、EIS频率范围：1μHz～1MHz。

19、间歇式接触测量模块的针尖控制方式：压电元件和步进电机。

20、间歇式接触测量模块压电晶体形变尺度：100μm。

21、间歇式接触测量模块的振动频率范围：50Hz～500Hz。

22、间歇式接触测量模块的z轴控制分辨率：≤ 0.1 nm。

23、间歇式接触测量模块的形貌测量分辨率：≤ 2μm。

24、电解液微滴扫描系统的液滴尖端参比电极： Ag/AgCl电极。

25、电解液微滴扫描系统的液滴尖端对电极：Pt电极。

26、电解液微滴扫描系统的尖端孔径：≥ 80 μm。

27、电解液微滴扫描系统的尖端定位分辨率：≤220μm。

28、扫描振动探针微区电化学活性测试信号处理技术：双相振荡器的锁相放大器技术。

29、扫描振动探针微区电化学活性测试系统锁相放大器最大增益：105。

30、扫描振动探针微区电化学活性测试系统差分电位计输入阻抗：1015Ω。

32、扫描振动探针微区电化学活性测试系统振动驱动方式：一维低电压控制的压电驱动。

32、扫描振动探针微区电化学活性测试系统振动振幅：1～25μm。

33、扫描振动探针微区电化学活性测试系统电化学参数测量灵敏度：≤ 10 μA/cm²。

34、非接触式微区形貌测试系统测量范围:≥ 6 mm。

35、非接触式微区形貌测试系统参比距离: 25mm～35 mm。

36、非接触式微区形貌测试系统最大垂直分辨率：≤ 120nm。

37、非接触式微区形貌测试系统光斑大小: ≤ 50 μm。

38、非接触式微区形貌测试系统扫描速度: ≥ 10 mm/s。

39、非接触式微区形貌测试系统光源类型: 固定波长半导体激光器。

40、非接触式微区形貌测试系统光源最大功率：≥0.75 mW。

放置位置：能源1号楼（45号楼）816办公室

联系方式：尹彦斌 15141113140