仪器名称及型号：柔性太阳能薄膜电池沉积系统（RWC-160ES）

仪器介绍：柔性太阳能薄膜电池沉积系统（RWC-160ES）可用于制备柔性基材的薄膜太阳电池，可制备多种功能材料，配备四套磁控阴极，四套线性蒸镀源，可满足大部分柔性薄膜的制备

应用范围：

（1）各种功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如，低温沉积氮化硅减反射膜，以提高太阳能电池的光电转换效率。（AZO,ITO,ZnO）

（2）装饰领域的应用，如各种全反射膜及半透明膜等。

功能参数：溅射气体：Ar、O2、N2；样品台转速：最高转速120rmp;基片温度范围：室温至200 ℃；柔性衬底，系统的极限压强可达≤1x10-7Torr；溅射阴极：平面磁控靶，线性蒸镀源 溅射电源：2个300wRF电源，2个直流电源（500w+1000w）；基片清洗电源： RF射频电源。          

放置位置：大连化物所河口科技园105室

联系方式：焦玉骁 18331135673