仪器名称及型号：准原位X射线光电子能谱仪（ESCALAB Xi⁺）

仪器介绍：ESCALAB Xi⁺是一款数字化多功能光电子能谱仪，可以高精度完成各种材料样品表面的元素成分、价态、相对含量、浓度掺杂及表面、深度分布等功能分析。其配备了一套准原位处理系统，可以对XPS样品进行升降温处理，从而分析高温与反应气氛处理前后的元素价态与组分含量的改变。

应用范围：

对固体样品表面进行点扫、线扫、面扫，从而对元素的价态、定性、定量进行分析；

XPI成像功能、微区回溯成谱，可得到样品表面元素的二维分布信息；

对样品深度剖析，配有离子刻蚀、角分辨XPS（可计算膜厚）；

测试离子散射能谱，其探测深度为一个单原子层；

测反射式电子能量损失谱，得到H元素含量。

功能参数：

X射线源类型：Monochromated，Al K-Alpha;

XPS单色指标：最小能量分辨率0.43 eV@60 kcps（Ag3d5/2）

XPS成像分辨率：＜3 μm

ISS：分辨率优于12 eV时，灵敏度＞25 kcps

REELS：分辨率优于0.5 eV时，灵敏度＞1 Mcps

样品的测试与分析尺寸：20 μm～900 μm之间连续可调

放置位置：能源基础楼（5号楼）212-1办公室

联系方式：孟彩霞 13624917096